根据中国大陆海关发布的数据，从2017年1月至今(6月)，我国大陆从世界各地进口了接近100亿美金的半导体和IC制造设备(含二手)

我特地下载了数据，并进行整理。由于数据量较大，我计划分上下两期发布：

注) 我国海关将今年1、2月的数据合并发布，所以我将数据统一放在二月，实际该月数据是包含两个月的数据

一、氧化扩散等热处理设备

42个月，中国大陆进口氧化扩散等热处理设备约32.3亿美金。由图可见，从去年下半年开始，进口量金额大幅增加：

从下面比例图上可见，中国大陆进口的氧化扩散等热处理设备，有超过6成来自日本

二、化学气相沉积装置 (CVD)

同期中，CVD设备的进口金额约66.2亿美金。从图上看，我国从2018年开始进口量比较平稳，没有太大变化

而从进口国家地区分布上看，CVD设备的最主要来源居然是新加坡。这可能是美日供应商在新加坡的分公司生产或组装后直接出口到大陆的。后续有机会我会再调查一下细节，也欢迎读者提供线索

三、物理气相沉积装置 (PVD)

与热处理扩散设备和CVD设备不同，我国进口的PVD设备的高峰在2018年。2019和2020进口数额反而有下降趋势，而且金额总数也相对偏低。同期进口只有21亿美金

从进口来源地区看，美国、新加坡及德国排在前三位

四、其他薄膜沉积设备

其它成膜设备的进口量很少，同期只有4.8亿美金，且金额数值起伏变化剧烈，参考价值不大

五、离子注入机

离子注入设备的进口量相对其它主要设备偏少，同期只有12.7亿美金，但是作为半导体和IC制造不可或缺的重要设备，其进口来源单一，主要被美国一家垄断。这对于我国半导体产业的供应链安全而言是一个比较大的隐患

以上是我目前统计整理的5大类半导体制造设备的进口金额数据，而目前中国海关总共分类是10种。另外的5种分别是：

• 分步重复光刻机

• 其他投影绘制电路图装置

• 等离子体干法刻蚀机

• 其他刻蚀及剥离设备

• 离子注入机

• 其他机器及装置

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